現代の工業生産では,多くのハイテク製品や精密製造プロセスが 環境の非常に高い水準の清潔さを要求しています.製品に欠陥が生じる可能性があります性能低下や安全性さえも 危険ですクリーンルーム製品品質と生産効率の確保に不可欠な施設になります
清潔室とは,その名前の通り,空気中の微粒子の濃度が厳格に制御されている閉ざされた空間です.精密な空気浄化装置とシステムを用いて 塵を制限します制御された環境環境を整え,環境環境を整え,環境環境を整え,生産や実験のための超清潔な環境.
清潔室の清潔度レベルは 単一の標準ではありません清潔性クラス最も一般的な分類基準は,ISO 14644-1 国際規格空気の立方メートルあたりの異なる大きさ (例えば0.1マイクロメートル,0.5マイクロメートル,5マイクロメートルなど) の粒子の数に基づいて清潔さを定義する.清潔度のクラス番号が小さいほど清潔度のレベルが高くなるほど,環境管理の要件が厳しくなるほど,
ISOクラス9これは最も低い清潔度級で 典型的な室内環境に似ていますが それでも空気流の制御が必要です
ISOクラス7/8:食品や飲料などの産業や 電子機器の組み立てなどで よく見られます
ISOクラス5:半導体製造,精密儀器,医療機器の製造で頻繁に使用されるクラス.このレベルでは,3,520個の0の粒子が多くありません.1立方メートルあたり5マイクロメートル以上.
ISOクラス 3/4:チップ製造,バイオ医薬品製造,航空宇宙などの非常に高い清潔性の要求を伴う最先端分野に留保されていますこれらのクラスを達成するには ナノメートルくらいの粒子を 厳格に制限する必要があります.
適切な清潔度クラスの選択は 清潔室の設計と建設の第一歩であり, 設備の選択と運用コストを直接決定します.
クリーンルームシステムでは,FFU (ファンフィルターユニット)自動でモジュール化された ターミナルエア・サプライ・ユニットで 扇風機とフィルタが組み込まれています 通常 クリーンルームの天井格子に設置されています
独立性各FFUユニットは自力で動いて,中央空調システムに頼らずに独立して動作できます.これはクリーンルームの配置により柔軟性を可能にします.
高効率のフィルタリング:FFUには内蔵されている高効率フィルター (HEPA/ULPA)微小な空気中の粒子を 99.95%以上 (あるいはそれ以上) 効果的に捕捉できます
ラミナール空気流:一般的に,FFUは下向きのラミナル空気流生産中に発生した汚染物質を帰気口へ押し下ろす.これは,空気の短回路と交叉汚染を効果的に防止します..
エネルギー効率:現代のFFUは主にDC (直流) のブラシなしモーター伝統的な交流電流 (AC) モーターと比較して,より高いエネルギー効率と低騒音を供給し,運用コストを大幅に削減します.
空気フィルタークリーンルームの"肺"として機能し,様々な空気中の汚染物質を吸収します.空気フィルターは,通常,次のカテゴリーに分類されます.:
前フィルター:主に,大きな塵粒や毛などをフィルタリングするために使用され,中高効率のフィルターを保護し,寿命を延長します.
中程度の効率のフィルター:前濾過器よりも過濾効率が高く,より小さな粒子を除去するために使用され,しばしば高効率のフィルターのための前濾過器として使用されます.
高効率の微粒子空気フィルター (HEPA):0.3ミクロメートル以上の粒子を 99.95%以上捕捉できるのです
超低浸透気 (ULPA) フィルター:極めて高い清潔性を要求するアプリケーションで使用され,0.12マイクロメートルの粒子の過濾効率は99.999%を超えます.
化学フィルター (分子フィルター):有害なガスや分子汚染物質,例えば酸性ガス,アルカリ性ガス,VOCなどの有害なガスを空気から除去するために使用されます.特に半導体およびバイオ医薬品産業において重要です.
清潔室は,FFUや様々なフィルターに加えて,他のいくつかの空気浄化装置にも依存しています.
クリーンルーム空気処理装置 (AHU):クリーンルームに入る新鮮な空気を予備処理し,温度,湿度,差圧,初期濾過を制御する.
エアシャワー:クリーンルームへの入口/出口に設置され,高速のクリーンエアフローを使用して,パーソナルや材料の表面から塵を除去します.外部の汚染物質がクリーンルームに入ることを防ぐこと.
パスボックス:クリーンルームの内外への材料の移動のために使われます. 頻繁な人材移動を最小限に抑え,クロス汚染を減らすためです.
HEPAフィルターボックス (高効率の空気出口)一部のクリーンルームは,端末過濾を達成するためにFFUの代わりに統合されたHEPAフィルタを備えた供給空気出口を使用することがあります.
リターン航空システム:クリーンルームから空気を吸い戻し,再供給される前に再フィルタリングとコンディショニングを行い,循環する浄化ループを形成します.
クリーンルームは高度な統合と精密なシステムエンジニアリングの取り組みです清潔な環境を確保する完全なチェーンを形成する産業生産では 清潔室への投資は 標準を満たすだけでなく 製品の質を向上させ 欠陥率を削減し 安定した生産を確保すること持続可能な開発と企業の競争力を.
